高純氣體必須滿足2個(gè)條件:
1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質(zhì)組分含量必須小于某一定值。
電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準(zhǔn)用的零點(diǎn)氣、標(biāo)準(zhǔn)氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求,可列為高純氣體。
理論上,高純氣體的純度=主體成分含量=1-∑雜質(zhì)含量。事實(shí)上,用實(shí)驗(yàn)方法直接準(zhǔn)確測(cè)定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。既使象二氧化碳這類(lèi)產(chǎn)品,可以通過(guò)規(guī)定的方法,直接測(cè)定得到“純度值”,但該值也包含有水分、酸性氣體及其它與強(qiáng)堿作用的成分。所以說(shuō),該“純度”也并非理論意義上的氣體純度。
而另外一種通過(guò)測(cè)定氣體中所含有的所有雜質(zhì)成分,計(jì)算求得氣體純度(理論純度)的方法,同樣難以實(shí)現(xiàn)。
那么,目前市場(chǎng)上高純氣體產(chǎn)品的“純度”含義又是什么呢?筆者認(rèn)為,所謂高純氣體純度是通過(guò)規(guī)定方法直接測(cè)得或扣除規(guī)定雜質(zhì)計(jì)算求得的濃度值。這種規(guī)定是生產(chǎn)者和用戶依據(jù)生產(chǎn)過(guò)程和使用目的共同協(xié)商的結(jié)果。
評(píng)價(jià)高純氣體的質(zhì)量,除進(jìn)行“純度”指標(biāo)評(píng)價(jià)外,還需依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)規(guī)定雜質(zhì)進(jìn)行逐一核對(duì)。任何一項(xiàng)超出規(guī)定的要求,都不能稱(chēng)之為合格品。
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