MFC流量控制器，即MassFlowMeter(MFM)，是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
MFC流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
簡單來說，質(zhì)量流量計(jì)只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。
MFC流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn)：
（1）直接測量氣體的質(zhì)量流量
熱式質(zhì)量流量計(jì)直接測量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無需其他設(shè)備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進(jìn)行換算。
（2）無可移動(dòng)部分
本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無需機(jī)械維護(hù)。
（3）可以準(zhǔn)確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
（4）測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì)／質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示，流量自動(dòng)計(jì)量，數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄，計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
（5）準(zhǔn)確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制等。
（6）準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好
準(zhǔn)確度可達(dá)+-1%F.S（fullscale）重復(fù)性為＋-0.25%F.S（fullscale）
（7）體積小巧，安裝方便，操作簡單
（8）技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流
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